«КИIВ-67»

- специализированная цифровая управляющая машина. Предназначена для управления процессами электроннолучевой (ионнолучевой) микрообработки материалов. Это первая отечеств, машина такого типа. Разработана в Ин-те кибернетики АН УССР в 1967.

В машине (рис. 1) реализован удобный для технологов входной язык, позволяющий записывать исходную информацию в цифробуквенной форме. Процесс обработки разбивается на этапы, в пределах каждого из которых энергетические характеристики луча и временные параметры не меняются. По одной команде машина способна отработать любую из пяти произвольно расположенных в пределах растра элементарных геометрических фигур нужных размеров: точечный растр, ряд прямоугольников, наклонная линия, окружность или дуга, площадь, ограниченная с двух сторон наклонными с любым углом наклона или дугами требуемого радиуса. Комбинируя эти фигуры и связи между ними и задавая их отработку в нужной временной последовательности при различных энергетических характеристиках пучка и временных параметрах облучения, можно управлять воспроизведением сложных рисунков, созданием компонентов интегральных схем, изготовлением разнообразных фильер, производством микросварки и т. д. Каждая команда состоит из десяти слов, в которых содержатся данные о законе перемещения луча по поверхности обрабатываемой подложки, координаты первой и последней облучаемых точек, значения тока электронного

луча и ускоряющего напряжения, длительность рабочих импульсов и пауз между ними, а также количество импульсов. Координаты точек задаются числом шагов с указанием номера квадранта (область обработки составляет шагов). Режим обработки может быть импульсным или квазинепрерывным (в последнем случае луч не выключается при перемещении от точки к точке). Блок формирования временных параметров (рис. 2) регулирует по программе длительности импульсов и пауз между ними при любом их соотношении в диапазоне от 2 мксек . Число импульсов облучения в каждой точке может достигать 2047. Программы обработки могут быть введены с перфоленты, от другой цифровой вычислительной машины или с пульта управления. Хранятся они в оперативном запоминающем устройстве объемом 4096 двенадцатиразрядных слов. Блок отклонения луча содержит преобразователь кодов в отклоняющий ток, построенный по принципу суммирования на нагрузке формируемых стабилизаторами токов, величины которых соответствуют значениям разрядов двоичных чисел. Амплитуда тока луча задается в процентах от максимального значения, что позволяет стыковать машину с разнотипными электроннолучевыми установками. Основу вычислительного блока составляет перестраиваемый на отработку различных элементарных геометрических фигур линейно-круговой интерполятор, собранный на двух цифровых интеграторах.

Отладка программ и контроль за правильностью их ввода, а также проверка состояний блоков машины в процессе управления осуществляется с помощью блока визуального контроля, построенного на трубке с темновой записью и плоском электролюминесцентном экране, и акустического индикатора.

Лит.: Глушков В. М., Деркач В. П. Об автоматизации изготовления микросхем. «Механизация и автоматизация управления», - 1967, № 5.

В. П. Деркач.