Главная > Объемные интегральные схемы СВЧ
<< Предыдущий параграф Следующий параграф >>
Пред.
След.
Макеты страниц

Распознанный текст, спецсимволы и формулы могут содержать ошибки, поэтому с корректным вариантом рекомендуем ознакомиться на отсканированных изображениях учебника выше

Также, советуем воспользоваться поиском по сайту, мы уверены, что вы сможете найти больше информации по нужной Вам тематике

5. Экспериментальные исследования НЩЛ.

На первом этапе проектирования и конструирования элементов ОИС желательно иметь простую и наглядную в физическом плане модель НЩЛ. Этого можпо достичь, например, математической обработкой экспериментальных данных и разработкой полуэмпирической модели НЩЛ. Ниже и излагается такая модель открытой НЩЛ [1].

В результате аппроксимации достаточно большого числа экспериментальных данных для эффективной диэлектрической проницаемости НЩЛ была получена следующая формула [80]:

где Волновое сопротивление НЩЛ рассчитывалось методом конформных отображений для ограниченной ширины проводников, а полученные результаты сравнивались с экспериментальными данными. В результате аппроксимации получена следующая зависимость:

где Сравнение приведенных данных для рассчитанных по формулам (14) и (15), с экспериментальными в указанном сравнительно низкочастотном диапазоне дает максимальную погрешность порядка 8% при и до при

На рис. 1.22 приведены экспериментальные данные (точки) по изучению НЩЛ, выполненной на подложке из поликора Измерения проводились в длинноволновой области сантиметрового диапазона; результаты расчета по формулам (14) и (15) представлены кривой Для сравнения на этом же рисунке приведены результаты расчета НПЛ (кривая 2) и СЩЛ (кривая 3).

Анализ приведенных на рис. 1.22 результатов показывает, что НЩЛ обладает рядом интересных свойств. Во-первых, в случае перехлеста проводников волновое сопротивление НЩЛ практически совпадает с НПЛ. Полное количественное совпадение

наблюдается при величине перекрытия порядка полуволны и более. Это позволяет при расчетах НЩЛ использовать теорию, развитую в [1].

Рис. 1.22. Зависимость эффективной диэлектрической проницаемости (а) и волнового сопротивления (б) от геометрических размеров НЩЛ: 1 - расчет по (1.4.14), (1.4.15); 2, 3 — расчет для НПЛ и СЩЛ по (1.2.23) -(1.2.25) и (1.3.14), (1.3.15); точки — эксперимент

Рис. 1.23. Зависимость дисперсии четных и нечетных типов волн от перехлеста слоев металла в усложненной

В случае недохлеста проводников по своим характеристикам в некоторой степени «похожа» на СЩЛ. Из сравнения кривых видно, что в НЩЛ отсутствуют конструкторско-технологические особенности, связанные с реализацией узких

проводников и щелей, что позволяет выполнять НЩЛ с практически любой величиной волновых сопротивлений.

Categories

1
Оглавление
email@scask.ru