Изготовление планарных элементов.

Применяются следующие технологические процессы и операции: ориентация монокристаллов; резка подложек;

шлифование и полирование подложек; изготовление световодных слоев; формирование заданной топологии элементов.

Операции ориентации монокристаллов, резки и обработки подложек при изготовлении планарных элементов не имеют существенных особенностей по сравнению с аналогичными процессами при изготовлении твердотельных устройств. Для изготовления световодных слоев применяют диффузию, ионный обмен, вакуумное напыление, ионно-плазменные процессы, молекулярно-лучевую эпитаксию, протонную бомбардировку и некоторые другие. При всей специфичности и сложности изготовления

планарных световодов с требуемыми параметрами все применяемые технологические процессы давно с успехом используются в смежных областях, и здесь можно говорить о создании новых типов устройств, но не о создании принципиально новой технологии.

Также обстоит дело и в области формирования заданной топологии элементов. Применяемые методы (фотолитография, рентгеновская, лазерная и электронная литография) развиты и продолжают совершенствоваться в технологии больших интегральных схем.

Таким образом, технология и оборудование для изготовления планарных элементов — наименее специфичны, поскольку здесь используется технология больших интегральных схем и твердотельных элементов.