§ 6. Измерение шероховатости с помощью источника, излучающего широкую полосу спектра [203]

При освещении шероховатой поверхности монохроматическим и пространственно-когерентным светом получаемая спекл-структура имеет максимальный контраст. Если мы уменьшим временную когерентность, сохранив пространственную когерентность неизменной, то контраст спекл-структуры также уменьшится. При заданной длине когерентности влияние шероховатости на контраст спекл-структуры особенно заметно, когда изменения рельефа поверхности имеют порядок величины длины когерентности. На данном эффекте может быть основан один из методов оценки шероховатости поверхности. Опыт показывает, что соотношение между контрастом спекл-структуры и шероховатостью почти не зависит от способа получения шероховатой поверхности. Таким образом, используя белый свет, длина когерентности которого около 1,5 мкм, можно по контрасту спекл-структуры оценивать шероховатость а в пределах от 0,2 до 3 мкм (рис. 137). Для определения контраста спекл-структуры

можно, например, проецировать изображение исследуемой поверхности на малое отверстие, за которым помещен фотоприемник. Перемещая поверхность в ее плоскости, мы можем измерить интенсивность прошедшего сквозь отверстие потока, т. е. профиль спекл-структуры. Разумеется, диаметр отверстия должен быть меньше диаметра самых мелких пятен спекл-структуры.

Рис. 137. Зависимость шероховатости а от контраста у спекл-стру-ктуры при использовании источника белого света [203].