2.3.1.6 Свойства пленок, получаемых методом пульверизации с последующим пиролизом

Рассмотрение свойств пленок, осаждаемых посредством пульверизации с последующим пиролизом, и их сравнение со свойствами пленок, выращиваемых другими методами, будут проведены в следующей главе. Здесь же мы можем кратко отметить, что метод пульверизации с последующим пиролизом обеспечивает получение пленок, как правило обладающих сильной адгезией, высокой механической прочностью, не содержащих сквозных отверстий, стабильных при выдержке в обычных условиях и при повышенной температуре (достигающей температуры процесса осаждения). Пленки имеют шероховатую поверхность, причем форма и размеры неровностей определяются условиями распыления раствора и температурой подложки. В зависимости от подвижности частиц жидкости и химической активности компонентов осаждаемого вещества микроструктура пленок может изменяться от аморфной до микрополикристаллической. Типичный размер зерен в пленках сульфидов и селенидов колеблется в пределах от 0,2 до 0,5 мкм [39], а в пленках оксидов — от 0,1 до 0,2 мкм [42]. Отжиг, проводимый после осаждения пленок, обычно изменяет их электрические свойства, связанные с наличием кислорода, но не влияет на микроструктуру [41]. В результате рекристаллизации, происходящей в процессе отжига при температуре, превышающей температуру осаждения пленок, или под воздействием химически активной среды, размер зерен увеличивается и в некоторых случаях образуется структура с преимущественной ориентацией зерен [41].