3.3 Прозрачные проводящие оксиды
Тонкие прозрачные проводящие оксидные пленки уже на протяжении многих лет успешно применяются в различных областях техники. Они служат нагревательными элементами в системах, предотвращающих обледенение и запотевание стекол в самолетах; их наносят в качестве покрытий, уменьшающих статический электрический заряд, накапливающийся на панелях измерительных приборов; на их основе создают электрические контакты к жидким кристаллам, а также электрохромные и электролюминесцентные индикаторы для дисплеев. Высокая отражательная способность в инфракрасной области в сочетании с хорошей прозрачностью в видимой области спектра позволяет использовать такие пленки в качестве тепловых зеркал. Возобновившийся в последние годы исследовательский интерес к пленкам такого типа связан с возможностью изготовления на их основе высокоэффективных стабильных солнечных элементов большой площади.
(см. скан)
Здесь 
подвижность свободных электронов в зоне проводимости, 
эффективная масса свободных носителей, 
время релаксации, 
показатель преломления, 
заряд электрона и с — скорость света. Очевидно, 
имеет наиболее низкие значения при высоких 
и малых 
поскольку эти параметры связаны соотношением
Значение 
для многих полупроводниковых материалов приблизительно равно 1,35 [203].
Для получения пленок прозрачных проводящих оксидов применяют различные методы осаждения, в том числе: ионное распыление в тлеющем разряде постоянного тока [201, 204—209], высокочастотное ионное распыление [210—215], ионно-лучевое распыление [207, 216], ионное осаждение [217], пульверизацию с последующим пиролизом [218—225], химическое осаждение из паровой фазы [226, 227], электронно-лучевое [228], дискретное [229], реактивное [230—232] и активированное реактивное [233, 234] испарения, а также анодирование [207]. В следующих разделах кратко обсуждаются различные физические свойства пленок, важные с точки зрения их использования в солнечных элементах.
Недавно получены пленки 
которые по своим свойствам пригодны для создания прозрачных электродов. Для удобства сравнения характеристик различных оксидных пленок Фразером и др. [201] был введен некий критерий качества, в котором фигурируют оптический коэффициент пропускания и слоевое сопротивление. При описании характеристик солнечных элементов Хаак [202] предложил использовать следующую форму этого критерия:
коэффициент пропускания, 
слоевое сопротивление (Ом), а — удельная проводимость 
а — коэффициент поглощения света и 
толщина пленки (см). При фиксированном значении слоевого сопротивления критерий качества 
можно выразить через основные параметры материала пленки и представить в виде
достигает максимума при минимальном значении отношения 
Это отношение записывается в виде
