2.3.2.6 Основные свойства пленок, получаемых методом осаждения из раствора

Исследование [90] пленок, осаждаемых из раствора, с помощью просвечивающего электронного микроскопа показало, что процесс формирования пленки связан с образованием и ростом зародышей и аналогичен процессу, происходящему при осаждении пленок из паровой фазы. Обычно пленки имеют микрополикристаллическую структуру с размером зерен в интервале 30. ..100 нм. Размер зерен зависит от состава и температуры ванны, а также от природы материала подложки. При уменьшении скорости осаждения (например, путем понижения степени пересыщения раствора), повышении температуры ванны и при использовании подложки, согласующейся по параметрам

кристаллической решетки с осаждаемым веществом, образуются пленки с более крупными зернами.

При совместном осаждении двух или большего числа халькогенидов получаемые пленки имеют более тонкую микроструктуру [95, 98], подобную структуре пленок, осаждаемых из паровой фазы. Микроструктура многокомпонентных пленок зависит от размеров участвующих в реакции ионов и характера взаимодействия между ними.

Согласно сообщению Шарма и др. [99], на монокристаллических подложках при определенных условиях осаждения благодаря достаточно высокой подвижности адсорбированных ионов образуются эпитаксиальные пленки с упорядоченной структурой. Авторами проведено эпитаксиальное осаждение пленок на монокристаллические подложки из германия при температуре ванны ниже

На структуру пленки значительное влияние оказывает вид комплексообразующего агента. Пленки получаемые при использовании комплексного соединения в зависимости от условий осаждения имеют структуру сфалерита, вюртцита или смешанную структуру. Пленки осаждаемые из растворов, содержащих комплексные соединения или всегда кристаллизуются в структуре вюртцита, при этом ось с направлена перпендикулярно поверхности подложки [91, 94, 97].

Продолжительный отжиг осажденных пленок при температуре, превышающей приводит к существенному укрупнению зерен. Более быстрое увеличение размеров зерен при меньшей температуре можно стимулировать путем введения определенных примесей [95, 100]. Кроме того, пленки рекристаллизуются [95] при нанесении на их поверхность тонких слоев или и прогреве при температуре, превышающей 350 °С.

Детальное рассмотрение электрических и оптических свойств пленок, осаждаемых из раствора, и их зависимости от особенностей микроструктуры проведено в следующей главе.