3.3.4 Станнат кадмия (Cd2Sn04)
3.3.4.1 Структурные свойства
-единственный проводящий оксид, который имеет различную кристаллическую структуру при получении его в виде пленок (кубическая решетка шпинели) и в виде массивных образцов (орторомбическая решетка). Хаак [210, 249] установил, что пленки станната кадмия, осаждаемые с помощью высокочастотного ионного распыления, обычно представляют собой многофазные системы, состоящие из
Для получения пленок, содержащих единственную фазу —
после их нанесения проводят отжиг в атмосфере
3.3.4.2 Электрические свойства
Концентрация и подвижность носителей в пленках станната кадмия составляют
соответственно [210, 212, 248]. Отожженные однофазные пленки, осаждаемые методом ионного распыления, отличаются высокой концентрацией носителей
Мията и др. [212], регулируя параметры процесса ионного распыления, получали (без последующего отжига) пленки с низким удельным сопротивлением, достигающим
.
3.3.4.3 Оптические свойства
В аморфных пленках, создаваемых методом ионного распыления, обнаружено увеличение ширины запрещенной зоны с 2,06 до
при повышении концентрации носителей от
до
Это изменение ширины запрещенной зоны связано с влиянием сдвига Бурштейна — Мосса [248]. Рассчитанная по результатам оптических измерений эффективная масса носителей, приблизительно равная
зависит от их концентрации. Однако приведенные выше данные поставлены Хааком под сомнение, поскольку изучавшиеся пленки представляли собой многофазные системы.