2.3.2.3 Легирование

Внедрение в осаждаемую пленку примесей, содержащихся в исходных реактивах, возможно лишь в том случае, если при данных условиях осаждения эти примеси образуют нерастворимые халькогениды и их ионное произведение выше произведения растворимости. Данным требованиям удовлетворяет очень небольшое количество материалов. Это обстоятельство имеет важное следствие: степень чистоты исходных реактивов при низкой концентрации содержащихся в них примесей и при условии, что соответствующее ионное произведение меньше произведения растворимости, не относится к числу параметров, значительно влияющих на степень чистоты осаждаемой пленки.