Глава 3. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК, ПРИМЕНЯЕМЫХ В СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТАХ

3.1 Введение

Исчерпывающий обзор литературы по тонким полупроводниковым пленкам выходит за рамки этой книги. В данной главе мы ограничимся рассмотрением тех полупроводниковых материалов, которые применяются или могут быть использованы для изготовления тонкопленочных солнечных элементов. Кроме того, будут обсуждаться только те свойства пленок, которые влияют на фотоэлектрические характеристики элементов. Поскольку тонкие полупроводниковые пленки по своим параметрам существенно отличаются друг от друга в зависимости от вида материала и метода его осаждения, мы рассмотрим характерные особенности конкретных материалов и проведем сравнение пленок, получаемых различными методами. В разделах 3.4 и 3.5 будет дано краткое описание свойств пленок металлов и диэлектриков, которые являются неотъемлемой частью тонкопленочных солнечных элементов, в частности элементов с барьером Шоттки и со структурой проводник — диэлектрик — полупроводник.