Рис. 4.8. Измеренные энергии ионизации различных примесей в Энергии доноров Д и акцепторов А отсчитываются от дна зоны проводимости для центров, расположенных выше середины запрещенной зоны, и от потолка валентной зоны для центров, расположенных ниже середины запрещенной зоны
квазиуровня Ферми. Как правило, уровни, расположенные в пределах нескольких от зоны проводимости или валентной зоны, являются эффективными донорами или акцепторами, но не представляют собой рекомбинационные центры. Обратное утверждение справедливо для близких к центру запрещенной зоны, особенно это касается глубоких донорноподобных (акцепторноподобных) состояний в материале -типа (и-типа), являющихся эффективными рекомбинационными центрами, снижающими время жизни носителей заряда. На рис. 4.8 показаны энергетические уровни различных примесей в Детальный обзор по этому вопросу написан Ченом и Милнсом [Chen, Milnes, 1980].
4.3.1. Легирующие примеси
Легирующую примесь для любого полупроводника выбирают исходя из положения ее энергетического уровня в запрещенной зоне, растворимости в полупроводнике и коэффициента диффузии D. При слишком большом значении D атомы примеси подвижны даже при комнатной температуре, что приводит к нестабильности (в 20-летнем временном масштабе) Коэффициенты диффузии некоторых элементов в кремнии приведены на рис. 4.9. Примесь, кроме того, должна иметь коэффициент сегрегации, соответствующий выбранному способу выращивания кристалла. В качестве легирующих примесей в кремнии наиболее часто используют фосфор (донорная) и бор (акцепторная примесь).
Вследствие рассеяния на заряженной примеси подвижность электронов и дырок уменьшается с ростом концентраций ND и NA донорной и акцепторной примесей (рис. 4.10). Это уменьшение наступает при в кремнии как так -типов проводимости. Кроме того, при большой концентрации примеси может уменьшиться время жизни неосновных носителей заряда вследствие искажения кристаллической решетки и комплексообразования.
В кремниевых солнечных элементах необходимо учитывать механизм оже-рекомбинации. Поэтому эффективное время жизни неосновных носителей заряда связано с временем жизни по рекомбинационному
Рис. 4.9. Зависимости коэффициентов диффузии D различных элементов от обратной температуры
механизму Шокли—Рида—Холла и временем жизни по механизму оже-рекомбинации соотношением
где в случае материала -типа проводимости для Константы оже-рекомбинационного процесса равны соответственно [Hall, 1981].
В качественных материалах, где при NA или эффективное время жизни носителей заряда определяется оже-рекомбинацией [Fisher, Pschunder, 1975].
Указанное влияние степени легирования на подвижность и время жизни носителей заряда ограничивает пределы по концентрации легирующей примеси в активных светопоглощающих слоях солнечных элементов.