4.4.2. Этапы изготовления
Ниже приводится технологическая цепочка изготовления солнечного элемента:
1) контроль качества кремниевого слитка (диаметр слитка может превышать 15 см, а длина — более полуметра);
2) разделение на пластины [толщина их обычно 0,5, а потери на пропил при резке составляют 0,2 мм; с помощью пилы образуются дефекты, которые удаляют затем путем полировки и (или) травления поверхности] 
3) обезжиривание и очистка;
4) механическая полировка (вместо этого, как правило, используют химическую полировку на большую глубину);
5) травление (например, полирующее при 110°С в 40%-ном растворе 
затем можно использовать травитель, создающий текстурированную поверхность);
6) окончательная очистка (чередование очистки в растворах 
и HF и промывки);
7) проведение двусторонней диффузии фосфора (из смеси газов 
при 
в течение 15 мин);
8) удаление стеклообразного слоя диффузанта путем травления в 
9) осаждение 
толщиной 50 нм на тыльную поверхность методом испарения в вакууме;
10) проведение диффузии 
(для создания 
-слоя) при 800° С в течение 15 мин (через 
-слой на тыльной поверхности);
11) маскирование для создания рисунка токосъемной сетки (с помощью фотолитографии или теневой маски);
12) осаждение 
на лицевую и тыльную поверхности;
13) удаление маски;
14) заключительный отжиг контактов примерно при 550° С в течение 10 мин;
15) погружение в припой;
16) осаждение просветляющего покрытия (например, 
) и последующее впекание при 450 °С в течение 1 мин;
17) резка на прямоугольники и обработка торцов (удаление диффузионных закороток по торцам);
18) контроль качества и отправка на изготовление солнечных батарей.
Описанная схема технологического процесса в значительной мере упрощена, в нее не вошли многочисленные этапы очистки и контроля параметров, необходимые при производстве элементов. В ряде случаев для изготовления сетчатого токосъема применяется способ трафаретной печати с помощью пасты из серебра, включающий последующую термообработку.
