6.3.3. Снижение рекомбинации на межкристаллитной границе
Для снижения потерь, обусловленных наличием межкрнсталлитных границ в поликристаллических солнечных элементах, существуют три основных способа: 1) нейтрализация электрической активности состояний на межзеренной границе путем введения примесей определенного сорта; 2) преимущественное «обволакивание» участков пересечения границ зерен и
-перехода диэлектриком; 3) включение границы зерна в качестве составной части в
-переход путем локального диффузионного легирования межзеренной границы до приобретения ею противоположного типа проводимости (например, граница приобретает проводимость
-типа в поглощающем слое
-типа), т.е. путем создания аналога вертикального многопереходного солнечного элемента (см. рис. 4.24).
Нейтрализацию состояний на межкристаллитной границе исследовали во многих работах. Использовали отжиг в среде атомарного водорода в целью увеличения проводимости поперек межзеренных границ в бикристаллах Si [Seager, Ginley, 1979; Seager е.а., 1980]. Этот способ эффективно устранял все поддававшиеся измерению барьеры (при 300 К) на глубинах до
мм. В предварительных исследованиях поликристаллических кремниевых солнечных элементов с размером зерен
мм было достигнуто некоторое увеличение
Эти элементы с
-переходом изготовляли традиционным методом диффузии и после нанесения контактов отжигали в среде атомарного водорода. Известны и другие рабрты по пассивации межзеренных границ в среде
Установлено, что добавка Си частично снижает потери на межкристаллитных границах и повышает КПД кремниевых поликристаллических солнечных элементов [Daud, Koliward, 1978]. Медь вводили путем диффузии с поверхности
полученного методом плавки, и в процессе выращивания
кристалла методом Чохральского до формирования
-перехода диффузией фосфора. Хотя после введения Си КПД мелкозернистого материала (
мм) значительно (примерно на 15 %) возрастал, в материале с большими размерами зерен (7 1 мм) наблюдали противоположный эффект: КПД снижался примерно на
Наибольшее влияние оказывала добавка
на
. В частности, максимально изменялся ход темновой вольт-амперной характеристики при низких напряжениях, где
что как раз предсказывалось теорией Фоссума и Линдхольма.
При нанесении субмонослоя
на
скорость поверхностной рекомбинации снижалась не менее чем на порядок [Nelson е.а., 1980]. Можно ожидать аналогичного эффекта на границах зерен в поликристаллических слоях из этого материала.
Способ электрической изоляции межкрнсталлитных границ с помощью диэлектрика применен в случае солнечного элемента с барьером Шоттки
Сначала на поверхности
селективным анодированием выращивали толстый слой оксида, а затем стравливали его в
оставляя тонкий слой
им) на открытой поверхности зерен и толстый (не менее 10 нм) на внутренних границах. После этой процедуры осаждался слой
и формировался барьер Шоттки. Без обволакивания межзеренных границ оксидом они имели
-тип проводимости (возможно, из-за диффузии примесей из слоя
в процессе его выращивания методом химического осаждения из паровой фазы) и сильно закорачивали солнечный элемент. После пассивации токи утечки снижались в 105—106 раз.
Третий подход к устранению влияния поликристалличности материалов в солнечных элементах - использование границ столбчатых кристаллитов в качестве составной части
-перехода в вертикальных многопереходных солнечных элементах (см. рис. 4.24). Для его реализации межзеренные границы
локально легировали атомами Р, диффузионно вводившимися при низких температурах. В результате следующей высокотемпературной диффузии образовывался высоколегированный слой
-типа, покрывающий часть поверхности каждого зерна
Stefano. Cuomo, 1977].
Переход, образованный вокруг каждого зерна, способствует собиранию носителей заряда, которые прежде рекомбинировали на межзеренной границе. Граница зерна по-прежнему пересекает основной
-переход, однако это пересечение уже не находится в сильно освещенной области. Конечно, требуется ювелирная точность при проведении указанного процесса во избежание закоротки из-за возможного смыкания
-перехода с тыльным контактом.