Главная > Материалы квантовой электроники
<< Предыдущий параграф
Следующий параграф >>
<< Предыдущий параграф Следующий параграф >>
Макеты страниц

8.5. Изготовление резонатора

Раньше изготовление плоскопараллельных зеркал резонатора, перпендикулярных плоскости перехода, производилось методом шлифовки и полировки соответствующих граней кристалла. Теперь полировка повсюду вытеснена методом скалывания. Кристаллы соединений имеют естественную плоскость скалывания (110). В кубической структуре сфалерита имеются две такие плоскости, перпендикулярные плоскости (100), и три перпендикулярные плоскости (111). На изготовление перехода методом диффузии или эпитаксии обычно поступают пластины, ориентированные в направлении плоскости (100). Глубина получаемого перехода составляет 10—20 мкм. Пластину затем сошлифовывают до минимально возможной толщины (чем меньше, тем лучше).

Плоскопараллельные, зеркальные поверхности резонатора изготавливают скалыванием с помощью скальпеля. Для этого пластину кладут на пластик под водой, чтобы не растерять сколотые полоски. Пластины скалываются

вдоль плоскостей (110) при очень слабом нажатии лезвия. На глаз трудно сохранять точное расстояние между сколами, но практически полоски можно скалывать с точностью до тысячных долей миллиметра.

Для того чтобы сколотый кристаллик стал резонатором Фабри — Перо, необходимо сделать матовыми две длинные боковые плоскости, перпендикулярные плоскости р-п перехода. Это достигается шлифованием или травлением.

В большинстве случаев на зеркальные поверхности резонатора Фабри — Перо не наносят никаких покрытий, поскольку разница в коэффициентах преломления в арсениде галлия и на воздухе обеспечивает достаточное для лазерного эффекта внутреннее отражение. Однако, принимая во внимание, что при двухстороннем испускании излучения теряется половина мощности излучения, то одно из зеркал покрывают отражающей пленкой, например, серебра. Для этого резонатор сначала покрывают пленкой , на которую затем наносят отражающее покрытие. Такие диоды имеют более низкие пороговые токи, чем несеребреные.

<< Предыдущий параграф Следующий параграф >>
Оглавление