Предисловие редактора перевода
Книга американских физиков Л. Фелдмана и Дж. Майера посвящена анализу изменяющихся (в пространстве и/или во времени) состава и структуры поверхностей и пленок твердых тел. О широте охвата материала свидетельствует хотя бы то, что список сокращенных названий различных обсуждаемых методов анализа включает 32 пункта. Возможность совместного рассмотрения этих методов обусловлена единством их физического происхождения, которое связано с анализом рассеяния проникающих излучений на исследуемых мишенях и рождающихся при этом вторичных излучений. Для анализа используются пучки быстрых электронов, ионов и рентгеновское излучение. Методы их регистрации хорошо развиты в ядерной физике.
В рассматриваемых здесь методах измеряются энергетические спектры рассеянных и вторичных частиц и их угловое распределение, а в случае кристаллов — и зависимость этих величин от ориентации мишени. Особо выделяется среди них масс-спектрометрия вторичной ионной эмиссии при распылении мишени бомбардирующими ионами. Здесь регистрируются массы вылетающих ионов отдачи, и этот метод наиболее чувствителен к ничтожно малым количествам примеси. Кроме того, он является разрушающим — происходит непрерывное. удаление верхних слоев вещества при облучении, что позволяет исследовать с течением времени все большие глубины.
В настоящее время в связи с бурным развитием микроэлектроники эти методы имеют весьма широкую область применения. Изложение их физических основ в одной книге относится к ее несомненным достоинствам. Книга написана просто и ясно, и для ее понимания не требуется специальных знаний. Каждая ее глава снабжена литературой, а также упражнениями, с помощью которых читатель может проверить степень освоения материала. В конце книги приведены таблицы, которые дают необходимый минимум сведений для практического использования этих методов.
Предлагаемая читателю книга частично восполняет недостаток специальной литературы по данной теме на русском языке. У нас имеются работы, в ряде случаев более основательные по отдельным проблемам этой области физики. Те из них, которые нам известны и соответствуют настоящей книге по уровню доступности изложения для широкого круга читателей, упомянуты в дополнительной литературе к главам.
Книга будет полезна студентам, научным работникам и инженерам, занимающимся проблемами микроэлектроники, физической электроники, материаловедения, а также всем интересующимся современными ядерно-физическими методами исследований.
Перевод выполнили кандидаты физ.-мат. наук В. А. Аркадьев (гл. 1—6) и Л. И. Огнев (гл. 7—12 и приложения).
В. В. Белошицкий
