11.6. Количественный анализ
Определение абсолютной концентрации элемента 
в матрице по выходу 
оже-электроиов затруднено влиянием матрицы на обратно рассеянные электроны и глубину выхода. Рассмотрим для простоты выход 
оже-электронов KLL, образуемых в тонком слое толщиной 
на глубине t образца:
(11.20)
где 
— число атомов сорта 
в единице объема; 
— сечение ионизации на глубине 
— выход флюоресценции; 
— глубина выхода; в — угол регистрации; Т — коэффициент пропускания анализатора; 
— телесный угол регистрации; 
— поток возбуждающих электронов на глубине 
Плотность возбуждающего потока удобно разделить на две компоненты:
где 
— поток первичных электронов на глубине 
— поток обратно рассеянных первичных электронов; 
— коэффициент обратного рассеяния (разд. 10.7).
Если используются внешние стандарты с известной концентрацией 
элемента 
в стандартном образце, концентрация 
в исследуемом образце может быть найдена по отношению оже-выходов:
В рамках этого подхода не требуется знание сечения ионизации флюоресцентного выхода, поскольку измеряются оже-выходы из того же атома. Кроме того, если по составу стандартный образец близок к исследуемому образцу, элементный состав может быть определен непосредственно по отношению выходов оже-электронов при условии, что измерения выполнены в идентичных экспериментальных условиях. Если стандартный образец по составу существенно отличается от исследуемого образца, должно быть учтено влияние матрицы на обратное рассеяние электронов и глубину выхода.
Элементые чувствительности определяются с использованием чистых образцов рассматриваемого элемента и применяются для идентификации его в многоэлементных матрицах. Параметры, которые включают неупругую длину среднего свободного пробега 
и сильно зависят от матрицы, необходимо корректировать.
Даже с поправками на глубину выхода и обратное рассеяние измеренный состав поверхности нельзя соотносить с внутриобъемным составом образца из-за последствий ионной бомбардировки, используемой при распылении для чистки образца и определения профиля по глубине (см. гл. 4).
