Глава 6. ЭЛЕКТРОН-ЭЛЕКТРОННЫЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ И ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К ГЛУБИНЕ В ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

6.1. Введение

Идентификация элемента в околоповерхностной области твердого тела часто сводится к измерению энергии электрона, характерной для данного атома. При такой методике разрешение по глубине определяется толщиной материала, которую может пройти испущенный электрон без неупругих столкновений на своем пути и, следовательно, без изменения энергии. Мы рассмотрим неупругие электронные процессы, чтобы получить количественные представления о толщине исследуемого слоя. Понимание этих явлений оказывается чрезвычайно полезным при подготовке измерений, поскольку экспериментатор зачастую может выбрать по своему усмотрению энергию электронов и таким образом зафиксировать глубину исследования.

В этой главе мы выведем классические соотношения для электрон-электронных столкновений, пользуясь развитыми в гл. 2 и 3 основными понятиями теории рассеяния частиц. Эти соотношения помогут нам получить полезные аппроксимации для глубин выхода электронов и для сечений ударной ионизации.