13.3.1. Спектр искрового разряда
Спектр искровых источников УФ излучения измерялся рядом авторов. Бэбкок и др. [10] использовали безоконный вакуумный монохроматор для исследования излучения искры на длинах волн, меньших величины 100 нм, соответствующей коротковолновой границе пропускания окон из LiF. Однако они обнаружили, что в их
(кликните для просмотра скана)
искровой камере в смесях, содержащих несколько процентов СО2, все излучение с длиной волны, меньшей 115 нм, полностью поглощалось в газе на оптическом пути длиной 5 мм. Мак-Кен и др. [97] для исследования спектров испускания искровых разрядов в СО2, N2 и Не применили спектрометр с окном из LiF. Они нашли, что в N2 ультрафиолетовое излучение было гораздо более эффективным, чем в СО2 или в Не. Зарослов и др. [153, 154] сообщили о получении спектров азота и идентифицировали большинство линий излучения как линии атомарного азота. Гросьен и Блетзингер [63] наблюдали излучение из искры в СО2 и СО. Оба этих спектра в основном содержали линии излучения атомарного углерода. Во всех случаях спектры СО2 и СО2-содержащих смесей не обнаруживают излучения на длинах волн, соответствующих сильному поглощению молекулами СО2 (см. рис. 4, б). Шепс и Риан [126] опубликовали спектры излучения искровых разрядов для нескольких многоатомных фторидов в смесях с Не и Аг. В смеси Не + Аг в спектре преобладали линии излучения примесей. При добавке соединений фтора наблюдалось сильное излучение ArF и соответствующее ослабление излучения примесей.
Спектры излучения искровых разрядов, обсуждавшиеся до сих пор, относятся к свободным искрам, т.е. к искрам, возникающим целиком в газе. Эти искры являются широкополосными излучателями, вследствие чего энергия многих испущенных фотонов недостаточна, для того чтобы фотоионизовать любую из известных газовых компонент с низким потенциалом ионизации. В поисках более интенсивных источников УФ излучения Зарослов и др. [153, 154] измерили спектр поверхностных искровых разрядов в N2 и обнаружили увеличение выхода ультрафиолетового излучения с длинами волн 
нм. Добавочное излучение было идентифицировано как линии излучения материалом изолирующей поверхности и электродов. Аналогичные результаты приводят Беверли и др. [19]. Однако Зарослов и др. [154] обнаружили, что после примерно 300 искровых разрядов в связи с разрушением поверхности диэлектрика выход излучения снижался. Беверли и др. [19] указывают на то, что, подбирая соответствующим образом материал подложки, можно существенно увеличить ее срок службы.
