14.4. Выводы и заключение

В данной главе мы ставили цель — подвести итоги тех успехов, которые были достигнуты в изучении причин неустойчивости, возникающей в разрядах эксимерных лазеров, управляемых электронным пучком. Результаты экспериментального и теоретического исследования показывают, что неустойчивость, наблюдаемая в разрядах KrF-лазеров, обусловлена ионизационной неустойчивостью, определяемой процессами многоступенчатой ионизации, включая ионизацию метастабильных состояний инертных газов. Поскольку

согласие между экспериментом и теорией оказалось вполне удовлетворительным, можно сделать заключение, что механизм этой неустойчивости достаточно хорошо понят. Неустойчивости, наблюдаемые в разрядах других эксимерных лазеров, определяются процессами, аналогичными тем, которые ответственны за неустойчивость разряда в -лазерах. В этих средах условия возникновения неустойчивости мы сможем находить теоретически, когда лучше изучим кинетику процессов, протекающих в таких средах. В частности, следует заметить, что теоретическое изучение причин, вызывающих неустойчивость разрядов эксимерных -лазеров, привело к тому, что были найдены методы ее подавления. Неустойчивости, хотя они и приносят много неудобств, все же нельзя считать сдерживающим фактором в технологии лазеров высокой мощности.